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气相沉积，气相沉积按形成的基本原理，分为物理的气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）。PVD分为真空蒸镀、溅射镀和离子镀。离子镀是蒸镀和溅射镀相结合的技术，离子镀膜具有粘着力强、均镀能力好、被镀基体材料和镀层材料可以普遍搭配等优点，因而获得较普遍的应用。近年来，多弧离子镀受到人们的重视。目前，在模具上应用较多的是离子镀TiN，这种膜不仅硬度高，而且膜的韧性好、结合力强、耐高温。在TiN基础上发展起来的多元膜，如（TiAl）N、（TiCr）N等，性能优于TiN，是一类更有前途的新型薄膜。CVD是用化学方法使反应气体在基础材料表面发生化学反应形成覆盖层（TiC、TiN）的方法。CVD有多种方法。在真空中进行奥氏体化后，使用高压气体淬火（HPGQ），避免了晶间氧化和表面氧化现象。浙江金属真空硬化淬火过程
在整体的热处理工艺中，大致有“退火、正火、淬火和回火”等基本工艺，例如40Cr钢的退火工艺，将其加热到适当温度，进行缓慢冷却，获得其良好的使用性能，或者为淬火做准备。另外40Cr钢的正火处理，将工件加热至合适的温度后进行冷却，其效果与退火相似，只是获得的内部金属结构组织更为精细，能够改善40Cr钢的切削性能，或作为其较终的热处理。在40Cr钢的淬火处理中，将其加热保温后，在水、油或其他有积水溶液和无机盐等溶液当中进行快速冷却，使之变硬，同时也变脆。为了降低40Cr钢的的脆性，进行适当的回火，这“四把火”通过不同的热处理工艺，使40Cr钢材料的工件或的一定的强度和韧性，进行调制后，这种传统的热处理工艺成为时效处理。浙江金属真空硬化淬火过程真空淬火是将零件放置于真空炉中抽取真空进行加热，因此氧化和形变均较小，这就是真空淬火较大的优势。
知识提问回答：1问：下一个脉冲开始之前，需要把上一个脉冲的乙炔和氮气抽空吗？答：不需要。问：不抽怎么控制压力呢？答：有一套系统，通过压力传感器，根据气体流量，控制真空泵的抽速，实现压力平稳。2问：怎么实现碳化物析出型渗碳？答：含有较多的强碳化物形成元素的材料，在真空渗碳时，就是碳化物析出型渗碳.3问：1cr17真空渗碳后性能有什么变化？答:1Cr17真空渗碳后，表面碳含量能达到3-4%，碳与cr形成大量细小弥散分布的碳化物，硬度和耐磨性大度增加。不过，该材料的防腐性下降很多。
通常，CVD的反应温度在900℃以上，覆层硬度达到2000HV以上，但高的温度容易使工件变形，沉积层界面易发生反应。发展趋势是降低温度，开发新的涂层成分。例如，金属有机化合物CVD（MOCVD），激光CVD（LCVD），等离子CVD（PCVD）等。高能束热处理，高能束热处理的热源通常是指激光、电子束、离子束等，它们共同的特征是：供给材料表面功率密度至少1000W/cm2。它们的共同特点是：加热速度快，加热面积可根据需要选择，工件变形小，不需要冷却介质，处理环境清洁，可控性能好，便于实现自动化处理。国内外对高能束热处理的原理、工艺等均投入较多的研究，比较成熟的是激光相变硬化、小尺寸电子束处理和中等功率的离子注入，并在提高模具寿命方面获得了应用。中性淬火能够在保持零件硬度的同时减少变形的风险。
应用不同：1、真空热处理：20世纪20年代末，随着电真空技术的发展，出现了真空热处理工艺，当时还只用于退火和脱气。由于设备的限制，这种工艺较长时间未能获得大的进展。60～70年代，陆续研制成功气冷式真空热处理炉、冷壁真空油淬炉和真空加热高压气淬炉等，使真空热处理工艺得到了新的发展。在真空中进行渗碳，在真空中等离子场的作用下进行渗碳、渗氮或渗其他元素的技术进展，又使真空热处理进一步扩大了应用范围。2、淬火：淬火工艺在现代机械制造工业得到普遍的应用。机械中重要零件，尤其在汽车、飞机、火箭中应用的钢件几乎都经过淬火处理。真空热处理工件可得到光亮的表面，真空热处理的去气作用，改善钢的韧性，提高工件使用寿命。苏州气冷真空硬化淬火价位
真空渗碳，不会与氧接触，所以有氧产生的缺陷在真空渗碳中全部避免。浙江金属真空硬化淬火过程
渗碳后常采的热处理方法：1）预冷直接淬火+低温回火，预冷的目的是减小零件变形，使表面的残余奥氏体因碳化物的析出而减少。预冷直接淬火表面硬度略有提高，但晶粒没有变化，预冷温度应高于Ar3，防止心部析出铁素体，温度过高影响预冷过程中碳化物的析出，残余奥氏体量增加，同时也使淬火变形增大。2）一次加热淬火+低温回火，将渗碳件快冷至室温后再重新加热进行淬火和低温回火，适用于淬火后对心部有较强度高和较好韧性要求的零件。浙江金属真空硬化淬火过程
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