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模具的真空脉冲氮碳共渗，真空脉冲氮碳共渗保留了真空脉冲渗氮的优点，如深孔、盲孔内壁渗层均匀，比真空脉冲渗氮有更好的耐磨性和抗咬合性，而且白亮层少，脆性小，渗层致密，渗速快，并能承受重负荷和冲击载荷。实例：W9Cr4Mo3V钢制十字槽冲头的真空脉冲氮碳共渗。（1）十字槽冲头在工作时，要承受大的冲击、压缩、拉伸和弯曲等应力的作用，失效形式为槽筋疲劳断裂。原采用T10钢制造，经常规盐浴加热淬火、回火处理后，模具平均寿命为3万件。（2）采用W9Cr4Mo3V钢制造冲头，经真空加热淬火、回火和真空脉冲氮碳共渗后，模具寿命提高到近30万件。真空氮碳共渗采用ZCT65型双室真空渗碳炉，工作真空度为2.7Pa。真空热处理具有高质量、低能耗、无污染（或少污染）等优点。江苏等温真空硬化淬火方法
具有脱气作用，在真空度低于金属或合金的相应分解压力时，其氧化物会发生分解，形成的游离氧并立即被排出真空室外，使工件内部的质量得到提高。钢铁零件的坯料在冶炼时会吸入大气中的极少量的氢气、氮气、一氧化碳等气体，从而产生微小气孔，易造成氢脆等缺陷。硬质合金，在压制时也会有空气进入。所以对于工模具钢来说，通过真空技术可以将工件内部的残佘气体抽掉，使组织得到纯真。对于硬质合金来说，通过真空处理同样可以将工件内部的残余气体抽掉。如湖南某硬质合金厂用于钻矿机械上的凿岩工具的硬质合金柱（片）的固溶处理，从1992年开始在衡阳纺机进行真空处理，十几年前该公司自己购买了北京机电所的真空炉，专门做真空固溶处理等的真空热处理，经真空固溶处理后的硬质合金在服役时可以不易碎裂，从而提高了耐磨性和冲击靭性，延长了使用寿命，在硬质合金行业得到了推广。江苏金属真空硬化淬火价位真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术。
真空炉中的加热主要依靠辐射传热，对流传热影响不大。因此，靠近加热元件的刀具比背阴（不直接面向辐射体的一侧）快，淬火加热温度下相应的保温时间不同，碳化物溶解度不同，导致红硬度不同。另外360°真空炉的方向吹冷却，气流吹到负载周围，周围的冷却速度比心脏快，进一步加剧了红色和硬度之间的差异。为了解决这一差异，一方面，适当延长淬火保温时间，确保炉内各部分的工具完全燃烧，另一方面，真空炉本身的冷却方式和冷却速度也受到影响，如冷却风扇的启动模式、炉内气体的流动方向等。目前，除360外，真空炉气体的冷却°除了圆周冷却模式外，还有上下方形冷却模式。上下方形冷却时，气流通过负载，有利于多层放置的小工件。因此，应根据工件的特点选择相应的炉型。
真空淬火脱碳问题，在真空加热过程中，由于氧分子稀薄，氧分解压很低，氧化作用受到抑制，通常在加热过程中不会发生氧化、脱碳等化学腐蚀。然而，对于有脱碳层的工件，在真空加热过程中，表面脱碳层会加深和加剧。为什么真空脱碳层会加重？由于与氧的反应受到抑制，可能与金属中碳原子的扩散有关。加热过程中，脱碳与未脱碳交界处的碳原子会扩散到低碳区，真空加热时间长，导致脱碳层加深。因此，不要认为真空不氧化会在真空炉中加热表面略脱碳的工件，这可能会使脱碳更严重，影响存活硬度。可以通过淬火满足某些特种钢材的铁磁性、耐蚀性等特殊的物理、化学性能。
真空渗碳的工艺过程：1、渗碳。真空渗碳是采用脉冲式渗碳。比如先渗碳三分钟，然后扩散8分钟，再渗碳三分，扩散8分，以此类推。整个工艺有若干段组成。段数，渗碳温度，时间决定渗碳层深度。2、降温保温淬火工艺结束后淬火操作和普通真空设备操作方式相同。需要二次淬火的，采用降温保温正火，之后高温回火，再加热淬火。真空渗碳油淬炉，冷室具备油淬和气冷功能。气冷压力2bar，冷速略大于正火。真空渗碳气淬炉具备高压高压气淬炉的所有功能。真空热处理按接受处理的部位，有整体、局部淬火和表面淬火。苏州高压真空硬化淬火加工
60～70年代，陆续研制成功气冷式真空热处理炉、冷壁真空油淬炉和真空加热高压气淬炉等。江苏等温真空硬化淬火方法
随着科学的进步，工业产品对热处理要求的提高，自20世纪40年代真空热处理技术在美国和日本逐渐发展，因其无脱碳，零件表面光亮，变形小，节能环保，工艺和力学性能再现性好等优点，在目前环保形式要求下，真空淬火展现出蓬勃发展的势头。真空渗碳热处理技术的成熟无疑扩大了真空热处理技术的应用范围。真空热处理水淬一般适用范围：航空航天行业中钛合金的固溶处理，仪表弹性元件中的钹青铜固溶处理，航天传感器中的镍基、钴基高弹性合金，镍基恒弹性合金等精密合金固溶处理以及不锈钢的固溶处理。江苏等温真空硬化淬火方法
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