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真空渗碳的工艺过程：1、渗碳。真空渗碳是采用脉冲式渗碳。比如先渗碳三分钟，然后扩散8分钟，再渗碳三分，扩散8分，以此类推。整个工艺有若干段组成。段数，渗碳温度，时间决定渗碳层深度。2、降温保温淬火工艺结束后淬火操作和普通真空设备操作方式相同。需要二次淬火的，采用降温保温正火，之后高温回火，再加热淬火。真空渗碳油淬炉，冷室具备油淬和气冷功能。气冷压力2bar，冷速略大于正火。真空渗碳气淬炉具备高压高压气淬炉的所有功能。低压真空渗碳设备，真空渗碳也是渗碳的一种，只是设备的表现形式不同，当然，工艺也有很大不同。山东真空硬化淬火条件
真空热处理具有很多优点：可以实现光亮淬火，工件在低于大气压力下加热，不接触空气，表面不会发生变化，当炉内的真空度抽到1～10-1Pa时，工件表面达到了不脱碳、不渗碳的目的，从而实现了光亮淬火的目的。1983年衡阳纺机厂从首都机械厂（现在的神箭）购买了一台双室真空淬火炉，用于GCr15轴承钢做的纺机零件锭底的光亮淬火，该锭底的技术要求非常的高，其锭底的内部顶端处，冷冲压R后不再进行任何机加工，淬火后表面不允许有任何脱碳等缺陷，以前用含qing化钠的盐浴加热的，后改变用50%NaCl＋50%Na2CO3的中温盐加热，淬火介质是用20%浓度的NaOH水溶液,其操作条件较差。苏州模具真空硬化淬火工艺真空渗碳能极大产品的可靠性和使用寿命。
模具的真空脉冲氮碳共渗，真空脉冲氮碳共渗保留了真空脉冲渗氮的优点，如深孔、盲孔内壁渗层均匀，比真空脉冲渗氮有更好的耐磨性和抗咬合性，而且白亮层少，脆性小，渗层致密，渗速快，并能承受重负荷和冲击载荷。实例：W9Cr4Mo3V钢制十字槽冲头的真空脉冲氮碳共渗。（1）十字槽冲头在工作时，要承受大的冲击、压缩、拉伸和弯曲等应力的作用，失效形式为槽筋疲劳断裂。原采用T10钢制造，经常规盐浴加热淬火、回火处理后，模具平均寿命为3万件。（2）采用W9Cr4Mo3V钢制造冲头，经真空加热淬火、回火和真空脉冲氮碳共渗后，模具寿命提高到近30万件。真空氮碳共渗采用ZCT65型双室真空渗碳炉，工作真空度为2.7Pa。
H13模具钢等温退火工艺，真空炉压力0.1~10Pa，以≤200℃/h缓慢升至875~890℃并保持2~4h后，快冷至710~740℃保持3~4h，用高纯度氮气冷至100℃以下出炉。Cr12MoV模具钢等温退火工艺，真空炉压力0.1~10Pa，以≤200℃/h缓慢升至830~870℃并保持2~4h后，快冷至720~740℃保持3~4h，用高纯度N2冷至100℃以下出炉。模具的真空渗碳，真空渗碳是将模具在真空炉中加热到奥氏体化状态，在渗碳气氛中渗碳，然后扩散及淬火处理。因模具在真空状态下加热，故模具表面十分光洁，适于高的表面质量要求模具的渗碳处理。真空淬火是将零件放置于真空炉中抽取真空进行加热，因此氧化和形变均较小，这就是真空淬火较大的优势。
低压真空渗碳设备，真空渗碳也是渗碳的一种，只是设备的表现形式不同，当然，工艺也有很大不同。真空渗碳按淬火方式不同，分真空渗碳油淬炉和真空渗碳气淬炉。从外观上说真空渗碳油淬炉和真空油淬炉相似，真空渗碳气淬炉和真空高压气淬炉相似。在增加渗碳功能以后，多了供气系统，气体流量控制系统，渗碳压力控制系统以及对加热系统的更改，这些系统的增加和更改，大部分是在设备内部，所以真空渗碳炉和真空炉的外形没有太大的区别。真空渗碳炉的规格主要有644、755、966、1077、1288，以及更大的1500*1500*800mm等标准型号，对应装炉量150kg，300 kg，500 kg，750 kg，1000 kg，4000 kg。基本上以双室油淬炉为基础上都可以作为真空渗碳炉的生产平台。低压真空渗碳是在低于一个大气压条件下的气体渗碳。渗碳的压力一般在200-2000pa，实际应用较多的是200-500pa。真空热处理按冷却时相变的内容，有分级淬火，等温淬火和欠速淬火等。山东真空硬化淬火条件
真空热处理按接受处理的部位，有整体、局部淬火和表面淬火。山东真空硬化淬火条件
真空淬火脱碳问题，在真空加热过程中，由于氧分子稀薄，氧分解压很低，氧化作用受到抑制，通常在加热过程中不会发生氧化、脱碳等化学腐蚀。然而，对于有脱碳层的工件，在真空加热过程中，表面脱碳层会加深和加剧。为什么真空脱碳层会加重？由于与氧的反应受到抑制，可能与金属中碳原子的扩散有关。加热过程中，脱碳与未脱碳交界处的碳原子会扩散到低碳区，真空加热时间长，导致脱碳层加深。因此，不要认为真空不氧化会在真空炉中加热表面略脱碳的工件，这可能会使脱碳更严重，影响存活硬度。山东真空硬化淬火条件
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