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气相沉积，气相沉积按形成的基本原理，分为物理的气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）。PVD分为真空蒸镀、溅射镀和离子镀。离子镀是蒸镀和溅射镀相结合的技术，离子镀膜具有粘着力强、均镀能力好、被镀基体材料和镀层材料可以普遍搭配等优点，因而获得较普遍的应用。近年来，多弧离子镀受到人们的重视。目前，在模具上应用较多的是离子镀TiN，这种膜不仅硬度高，而且膜的韧性好、结合力强、耐高温。在TiN基础上发展起来的多元膜，如（TiAl）N、（TiCr）N等，性能优于TiN，是一类更有前途的新型薄膜。CVD是用化学方法使反应气体在基础材料表面发生化学反应形成覆盖层（TiC、TiN）的方法。CVD有多种方法。表面淬火时通过快速加热，使刚件表面很快到淬火的温度，在热量来不及穿到工件心部就立即冷却，实现淬火。浙江风冷中性淬火条件
真空淬火对工件硬度的影响，真空淬火作为一种高效的热处理方法，主要是通过快速冷却来影响材料的晶体结构，从而提高硬度和强度。具体来说，这种方法可以使金属工件内部的晶体结构更加致密和均匀，从而达到提高硬度的目的。除此之外，真空淬火还可以减少工件的变形和裂纹等质量问题。在传统淬火过程中，由于冷却速度过快或过慢，工件容易发生变形和裂纹等问题，导致处理效果下降。而真空淬火可以有效规避这些问题，使得工件的质量更加稳定和可靠。江苏金属真空硬化淬火条件表面淬火是将刚件的表面层淬透到一定的深度，而心部分仍保持未淬火状态的一种局部淬火的方法。
在整体的热处理工艺中，大致有“退火、正火、淬火和回火”等基本工艺，例如40Cr钢的退火工艺，将其加热到适当温度，进行缓慢冷却，获得其良好的使用性能，或者为淬火做准备。另外40Cr钢的正火处理，将工件加热至合适的温度后进行冷却，其效果与退火相似，只是获得的内部金属结构组织更为精细，能够改善40Cr钢的切削性能，或作为其较终的热处理。在40Cr钢的淬火处理中，将其加热保温后，在水、油或其他有积水溶液和无机盐等溶液当中进行快速冷却，使之变硬，同时也变脆。为了降低40Cr钢的的脆性，进行适当的回火，这“四把火”通过不同的热处理工艺，使40Cr钢材料的工件或的一定的强度和韧性，进行调制后，这种传统的热处理工艺成为时效处理。
真空淬火是指：工件的淬火在真空炉内进行，淬火冷却的介质主要是气体（如惰性气体）、真空淬火油和水；真空淬火以大量应用于多种零部件，如工模具钢、高速钢、不锈钢渗碳钢等；按照真空炉淬火冷却方式的不同可以把真空炉分为真空气淬炉、真空油淬炉以及真空水淬炉，真空渗碳技术因为需要的冷却速度较快所以冷却方式选择真空淬火油冷却。真空热处理的气淬方式一般适合范围：工具钢、模具钢、高速钢、较强度高高等；真空热处理油淬一般适合范围：模具钢、高速钢、合金结构钢、轴承钢、弹簧钢、。真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的。
实例：65Nb（65Cr4W3Mo2VNb）钢制挑线连杆挤压模的真空渗碳。（1）渗碳介质（体积分数）：70%CH4＋30%H2。H2作为稀释气，CH4（甲烷）为渗碳气。渗碳设备为内热式小型真空渗碳炉。模具真空渗碳工艺见图4。（2）使用寿命。65Nb钢制模具经真空渗碳热处理后，其使用寿命比未经渗碳模具提高2.5倍，比Cr12MoV钢制模具（常规热处理）提高7.5倍。模具的真空碳氮共渗，真空碳氮共渗是模具表层在真空炉内处于负压的加热状态下，同时渗入碳、氮元素的化学热处理工艺，与单一的渗碳相比，模具表面硬度更高，耐磨性更好，同时还具有一定的抗蚀性和更高的疲劳强度。因共渗温度低，且渗后可直接淬火，奥氏体晶粒比单一渗碳细，因此提高了模具的心部韧性，共渗层组织无晶界氧化现象，模具性能明显提高。45钢模具碳氮共渗油淬后，其外观呈均匀的银灰色，45钢及P20钢模具的硬度均可达到62HRC以上，提高了表面硬度，可使P20钢制模具进入高寿命状态。45钢渗碳层深度0.53~0.56mm，有助于提高45钢模具使用寿命。真空渗碳表面质量好： 真空渗碳表面不氧化、不脱碳，可保持金属本色。浙江风冷中性淬火条件
真空高压气冷淬火的用途是材料的淬火和回火，不锈钢和特殊合金的固溶、时效，离子渗碳和碳氮共渗。浙江风冷中性淬火条件
真空热处理的技术要点：实质不同，真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空。真空热处理实际也属于气氛控制热处理。真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，热处理质量较大程度上提高。淬火是将钢加热到临界温度Ac3（亚共析钢）或Ac1（过共析钢）以上温度进行马氏体（或贝氏体）转变的热处理工艺。通常也将铝合金、铜合金、钛合金、钢化玻璃等材料的固溶处理或带有快速冷却过程的热处理工艺。浙江风冷中性淬火条件
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