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通常，CVD的反应温度在900℃以上，覆层硬度达到2000HV以上，但高的温度容易使工件变形，沉积层界面易发生反应。发展趋势是降低温度，开发新的涂层成分。例如，金属有机化合物CVD（MOCVD），激光CVD（LCVD），等离子CVD（PCVD）等。高能束热处理，高能束热处理的热源通常是指激光、电子束、离子束等，它们共同的特征是：供给材料表面功率密度至少1000W/cm2。它们的共同特点是：加热速度快，加热面积可根据需要选择，工件变形小，不需要冷却介质，处理环境清洁，可控性能好，便于实现自动化处理。国内外对高能束热处理的原理、工艺等均投入较多的研究，比较成熟的是激光相变硬化、小尺寸电子束处理和中等功率的离子注入，并在提高模具寿命方面获得了应用。如果需要高的表面质量，工件真空淬火和固溶热处理后的回火和沉淀硬化仍应在真空炉中进行。浙江二次真空硬化淬火方法
深冷处理，近年来的研究工作表明，模具钢经深冷处理（-196℃），可以提高其力学性能，一些模具经深冷处理后明显提高了使用寿命。模具钢的深冷可以在淬火和回火工序之间进行，也可在淬火回火之后进行深冷处理。如果在淬火、回火后钢中仍保留有残余奥氏体，则在深冷处理后仍需要再进行一次回火。深冷处理能提高钢的耐磨性和抗回火稳定性。深冷处理不仅用于冷作模具，也可用于热作模具和硬质合金。深冷处理技术已越来越受到模具热处理工作者的关注，已开发出专门使用深冷处理设备。不同钢种在深冷过程中的组织变化及其微观机制及其对力学性能的影响，尚需进一步研究。模具中性淬火条件表面淬火是将刚件的表面层淬透到一定的深度，而心部分仍保持未淬火状态的一种局部淬火的方法。
渗碳后的几种热处理方法，渗碳只能改变零件表面的化学成分，要使零件获得外硬内韧的性能，渗碳热处理后还必须进行淬火加低温回火，来改善钢的强韧性和稳定零件的尺寸。根据工件的成分、形状和力学性能等，渗碳后常采用以下几种热处理方法。直接淬火+低温回火，将零件自热处理炉中取出直接淬火，然后回火以获得表面所需的硬度。直接淬火的条件有两点：渗碳热处理后奥氏体晶粒度在5-6级以上；渗碳层中无明显的网状和块状碳化物。20CrMnTi等钢在渗碳后大多采用直接淬火。
真空渗碳的工艺过程：1、渗碳。真空渗碳是采用脉冲式渗碳。比如先渗碳三分钟，然后扩散8分钟，再渗碳三分，扩散8分，以此类推。整个工艺有若干段组成。段数，渗碳温度，时间决定渗碳层深度。2、降温保温淬火工艺结束后淬火操作和普通真空设备操作方式相同。需要二次淬火的，采用降温保温正火，之后高温回火，再加热淬火。真空渗碳油淬炉，冷室具备油淬和气冷功能。气冷压力2bar，冷速略大于正火。真空渗碳气淬炉具备高压高压气淬炉的所有功能。真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，热处理质量较大程度上提高。
真空淬火技术，真空气淬和油淬的区别，真空气淬相对于真空油淬常规炉型、同等功率下适用范围窄，特别是直径较大及淬透性差的钢材；同尺寸的炉子气淬的成本比油淬的高，氮气比淬火油的消耗量大，料框和炉内元件也更易损耗；真空气淬可实现高速钢、钹青铜、不锈钢以及钛合金的真空回火；真空气淬工件的外观明显优于真空油淬工件的外观，真空油淬比气淬的光亮度低20%-30%；真空气淬炉应用范围不如真空油淬炉普遍，同样压力下真空油淬冷却速度快。低压真空渗碳的优缺点，低压真空渗碳零件具有真空热处理的普遍优点。不锈钢真空硬化淬火条件
淬火可以大幅提高钢的刚性、硬度、耐磨性、疲劳强度以及韧性等。浙江二次真空硬化淬火方法
渗碳温度范围跨度大：从低温渗碳到较高渗碳温度可达到1050℃，对于深层渗碳可较大程度上节省工艺时间。更有利于完成特殊钢种的渗碳工艺。 在880-1000℃范围内的相同材料低压真空渗碳，随着渗碳温度的提高，渗碳速度不断增加。980℃的渗碳速度可以达到920℃的两倍。真空高温渗碳可以渗特殊材料，如马氏体不锈钢，铁素体不锈钢，还有H13，Cr12MoV等。对于这些材料，是另外一种渗碳类型，即碳化物析出型渗碳。渗碳质量稳定：工艺参数设定以后，整个渗碳过程有微机控制并记录工艺参数。控制系统能对渗碳工艺进行精确控制，对设备运行状况进行全方面监控并记录，减少工艺过程中的不利因素，使热处理工件有良好的重复性，质量稳定。浙江二次真空硬化淬火方法
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